5635 MP Ionizing Bar
5635 MP 靜電消除棒
AeroBar 5635 脈衝式靜電消除棒，專為半導體與超潔淨製程打造，提供快速除電、低靜電壓與高精度平衡表現。搭載先進 MP 技術，大幅提升離子輸出與傳遞效率，即使安裝於距離晶圓 150 mm 位置，仍能穩定達成高效靜電消除。結合超潔淨矽製靜電針尖設計，輕鬆滿足嚴苛潔淨標準，是先進製程的理想選擇。
透過超潔淨矽製靜電針尖與精密調整機制，MP 技術可達到符合 ISO 14644-12（0.01 μm 奈米粒子）及 ISO 14644 Class 1（0.1 μm 粒子）標準的潔淨度表現，滿足先進製程對靜電控制與潔淨環境的嚴苛要求。
擴展的 ISO class 1（10 nm）顆粒潔淨度
MP 脈衝技術
優異的離子均勻性
低電場，避免造成 induced ESD event
內建噴氣功能
可選配軟體，可調整靜電棒參數
警報輸出信號
規格
- 電壓輸入：24 VDC ±10%，RJ-45 接口，最大 0.7A
- 電壓輸出：最大 13.5 kV p-p，可調
- 電壓平衡：在控制環境下，距離 18 英寸時小於 ±35V
- 離子發射：調制脈衝 (MP) 技術
- 針尖：ISO 14644-1 class 1 單晶矽針尖
- 無塵室等級：符合 ISO 14644-1 標準（0.1 μm 顆粒）和擴展 ISO 1 級潔淨度（10 nm 顆粒或納米顆粒），使用 45-50% 輸出電壓設置和 OpenJet 噴嘴配單晶矽針尖
- 尺寸：3.1 英寸高 x 1.3 英寸寬 x 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5 英寸長（7.8 x 3.4 x 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米）