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5635M Metal Free Bar

AeroBar® 5635M 無金屬

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Simco-Ion 的 5635M 靜電消除棒專為消除半導體和其他超潔淨製造過程中的靜電設計，適用於需要快速放電時間、低擺動電壓和精確平衡且不允許暴露金屬表面的場合。AeroBar 採用 MP 技術，將高頻正弦波與調製脈衝 (MP) 結合，以實現高離子輸出和傳遞。這一突破性技術使 AeroBar 能夠在距晶圓 150 毫米內安裝。MP 技術結合超潔淨矽發射點和精確調整，提供符合 ISO 14644-12 離子化（0.01 微米顆粒或納米顆粒）和 ISO 14644 1 級（0.1 微米顆粒）潔淨度的性能，這對先進製程有極為關鍵重要性。

ISO 14644-12 （0.01 µm ）ionization
ISO 14644 Class 1 （0.1 µm ）
無金屬設計 metal free
優秀的橫向離子平衡度
內建噴氣功能
選配易用界面的軟體可調整參數
警報輸出接點

​規格

  • 輸入電壓：24 VDC ±10%，電源輸入 RJ-45；最大 0.7A

  • 輸出電壓：13.5 kV p-p（最大），可調

  • 平衡：在控制環境中，距離 18 英寸處測量小於 ±35V

  • 離子發射：調制脈衝（MP）技術

  • 針尖：ISO 14644-1 Class 1 單晶矽

  • 無塵室等級：使用 45-50% 輸出電壓設置和 OpenJet 噴嘴，單晶矽針尖達到 ISO 14644-1（0.1 μm ）和擴展 ISO Class 1 潔淨度（10 nm ）

  • 尺寸：高 7.8 x 寬 3.4 x 長 35 / 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 cm

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