top of page

Simco-Ion 5225 In-tool Bar

5225 半導體機台專用

AeroBar_5645_Back_Side_WITHOUT-preview.webp

Simco-Ion 的 5225 型數位 AeroBar 配備軟體控制，專為應對工具內靜電消除的苛刻要求設計。高離子輸出可快速中和晶圓上的靜電荷，並達到最嚴格標準的 E78 合規性。

與機台設備控制系統整合
每個 AeroBar 的參數均可完全調整
電流監測
多種長度選擇，包括三種專為 EFEM 設計的長度
矽針尖

​規格

  • 輸入：24 VAC，50/60 Hz，1W（典型值）；由介面模組型號 5200-IM6T 提供電源
    輸出：0-20 kVDC，±10% 每個極性可調；正負輸出水平可通過 GUI 分別調整

  • 靜電模式:  脈衝 DC、穩態 SSDC 或待機

  • 針尖單晶矽，可更換

  • 潔淨室等級:  單晶矽針尖：ISO 14644-1 Class 1
    鈦針尖：ISO 14644-1 Class 3

  • 尺寸 5.3 x 3.1 x (長 56.9 / 72.1 / 90.7 / 112.8 / 141.2 / 163.6 / 191.8 / 214.4 cm）

  • 控制器模組 ： Model 5200-IM6T

  • 輸入電壓： 24 VDC，1.0A，±5

  • 連接最多六根 Model 5225 AeroBars

  • LED 指示燈綠色 POWER ON，黃色 COMMUNICATION，紅色 ALARM

  • 尺寸2.76” 高 x 2.88” 寬 x 12.4” 長（7.01 x 7.32 x 31.5 cm)

  • 重量2.6 lb (1.18 kg)

bottom of page