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Simco-Ion 5225s Stand Along Bar

5225S 半導體製成用棒

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Simco-Ion 的 5225S 靜電消除棒專為提供高效能設計，並且易於整合與操作。可調節且精確的簡單數位設定，讓 AeroBar 可以用於多種應用，從內部工具到工作站及無塵室區域。多種工作模式、輸出電壓和離子輸出時間選項，提供了滿足靜電中和需求的多功能性。

所有參數均保存在 AeroBar 內不需要外接控制器
每個 AeroBar 的參數都可調整，支援脈衝直流pulse 或穩態直流SSDC 模式
多種 AeroBar 長度，包括三種專為 EFEM 設計的長度
電流異常監測
FMS 警報輸出
矽針尖

​規格

  • 輸入：24 VAC，50/60 Hz，1W（典型值）

  • 輸出：0-20 kVDC，±10% 每個極性可獨立調整；正負離子輸出可分別調整，使用 IR 手持遙控器型號 5570調整

輸出模式

  • 脈衝 DC、穩態 DC 或待機

針尖

  • 單晶矽或鈦，可更換

潔淨室等級

  • 單晶矽針尖：ISO 14644-1 Class 1

  • 鈦針尖：ISO 14644-1 Class 3

尺寸

  • 2.1” 高 x 1.2” 寬 x 22.4 / 28.4 / 35.7 / 44.4 / 55.6 / 64.4 / 75.5 / 84.4” 長（5.3 x 3.1 x 56.9 / 72.1 / 90.7 / 112.8 / 141.2 / 163.6 / 191.8 / 214.4 cm）

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