Simco-Ion 5645 Ultra Clean Bar
Simco-Ion 5V 先進製成專用
5645 MP 靜電消除棒專為半導體後端先進封裝和測試應用，以及前端要求苛刻的超潔淨應用而設計。通過 Novx 系統或 Novx Inside 版，達到業界最高等級的 5V 靜電平衡，提供行業領先的平衡離子化性能。具有快速靜電消除力和低靜電平衡電壓。這一先進技術能夠在距晶圓 150 mm 的位置安裝。
專利 SCSi 超潔淨針尖，超過 ISO 14644-1 1 級潔淨度，並達到擴展的 ISO 1 級（10 nm 顆粒）標準。
安裝 Novx 系統或 Novx Inside 監控和回饋控制時，5645 MP 靜電消除棒能夠保持優於 ±5V 的精確平衡。該棒可以輕鬆調整和微調電壓、頻率和平衡，以滿足環境和產品敏感性要求。5645 MP 靜電消除棒提供 14 種長度，從 350 mm 到 2350 mm。
規格
電壓輸入：24 VDC ±10%，0.7A（最大）
輸出：13.5 kV 峰值對峰值（最大）
平衡：<±5V（使用 Novx 系統或 Novx Inside）；<±20V（單機使用）
離子發射技術：調製脈衝（MP）技術
針尖：單晶矽和鈦
電壓：13.5 kV 峰值對峰值（最大）
頻率：0.3-60 Hz
間距：50 mm（僅適用於 350/450/600 mm 長度）；所有其他長度間距為 75 mm
無塵室等級：單晶矽針尖達到 ISO 14644-1 Class 1 和擴展 ISO Class 1；鈦針尖達到 ISO 14644-1 Class 3
LED 指示燈：綠燈恆亮表示正常運行，綠燈閃爍表示待機，紅燈表示異常
靜電消除棒設置：通過軟體遠程控制 Model 5601 電力分配器進行調整，棒上無需手動調整
氣體供應：
輸入：可選擇清潔乾燥空氣（CDA）或氮氣
流量：OpenJet 最大氣壓 45 psi，每個噴嘴流量 1-3.5 lpm
連接：8 mm 管（外徑）端接
臭氧：<0.05 ppm
電磁干擾：低於背景水平
操作環境：15-35°C（59-95°F）；30-60% RH，無冷凝
外殼：ABS