內建控制器系列- 5710 微線

自動校正- 採用獨特晶片控制系統,可即依環境狀態執行自我監控離子輸出 即時監控- 採用主動式外部離子監視, 能即時將離子平衡狀態直接顯示於面板上 Touch free 免觸式校正,可用遙控器進行 無線/有線雙向LCD 調整 採用可替換高壽命靜電放電線設計, 比傳統針尖更容易保養 無針尖設計,不需要耗時清潔每個針尖,直需使用內建清潔刷左右拉動,即可在數秒之內完成清潔之動作

 

  • 獨特的放電絲設計,對比傳統針尖式離子棒,具有顯而易見的較長清潔週期

  • 更快速簡易的保養流程,一次清潔放電絲

  • 放電均勻,可短距離工作而沒有死角

  • MicroPulse 高壓電源技術• 對平衡電壓與消散時間表現,提供更長時間的穩定性

  • 比傳統針尖式離子棒,更低的操作成本

  • 可簡易安裝立即使用

 

內建控制器系列- 5225S

5225S 是一款單獨使用的靜電棒,特殊設計能提供高效性能,簡易操作和調整,適合在多種無塵室環境內使用 - 從設備內部到工作站。 可提供多種設定模式,可以全面配合多種應用要求。 棒身以符合空氣動力學設計和高潔淨度材料製造,使得 5225在無塵台內可完全發揮靜電控制能力,而不干擾室內層流

  • 智慧型All-in-one靜電棒,參數輸出及調整模式改為數位化顯示

  • 串連式安裝設計,免外掛高壓產生器, 並可連結到軟體進行監視

  • Touch free 免觸式校正,紅外線傳送,無線遙控器螢幕接收顯示數值

  • 專利 off time 設計,能達到更穩定平衡值

  • 可選配purge air 或class 1 等級Si針尖,符合遠距離或高潔淨度之環境要求s

擴充式系列- 5225

5225 靜電消除棒,以數位化設計和透過軟體操控,滿足設備內的嚴謹的防靜電需求。 它提供高離子輸出量,能快速中和晶圓上的靜電,符合 E78 標準上最嚴格的要求。

 

  • 數位化控制,能與設備控制器連結

  • 透過 IonMonitor 軟體可以操控它的參數設置、運作和維護模式

  • 每支靜電棒的參數完全可獨立調整,可以根據個別需求,在設備的不同區域做微調

  • 提供單晶矽針尖,經驗證的超高潔淨的靜電針材質,不會對晶圓造成污染

  • 搭配IM6T 控制器,可支援五組靜電棒

 

擴充式系列- 5285

5285可用於半導體及液晶業的製程、迷你無塵環境、無塵層流操作台及其他無塵室的各式應用。 採用DC 離子產生技術,機殼符合流體力學,不須使用噴氣方式,大符減少對無塵室中的層流所造成的擾流。 5285e每支都能獨立調整功率及正負離子輸出量, 並提供多款不同長度, 提供快速的靜電消除速度以及精確的離子平衡技術.

  • DC 正負離子交錯放射模式

  • 每支獨立調整正負離子量

  • 每支提供異常警報燈號

  • 可串聯到 20支

  • 使用24 VDC電源串聯, 減低高壓線所產生之感電問題

小型尺寸系列- Ion Force

Ionforce 使用DC放電技術,提供快速的靜電消除效能,提供產品最佳的靜電破壞保護。只有 2.8公分高度的設計,可容易安裝於機台內部,並可選配噴氣款式,增延有效工作距離。

  • DC 正負離子交錯放射模式

  • 高度只有 2.8 CM, 容易安裝於機台內部

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